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                利用3D飛秒激光納米光刻技術制備晶體納米結構

                作者: 來源: 日期:2019/1/21 21:37:39 人氣:2884

                YAG(釔鋁石榴石)晶體中的亞波長衍射光柵和MOW(微結構光波導)。a)在可見光照射下,長度為厘米級、間距為700nm光柵的圖像。b)實驗并計算了波長為1070nm的亞波長光柵(間距為700nm)的絕對衍射效率。計算公式為衍射功率除以入射到嵌入光柵的功率。Error bars圖對應于~0.07%的實驗標準偏差。插圖:制作的光柵的掃描電子顯微鏡(SEM)特寫圖像。c)六邊形結構的光波導,水平孔距500nm,平均孔徑166nmx386nm,長4mm。d)波長為1550nm、862nm(垂直)和972nm(水平)的半峰全寬(full-width at half maximum,FWHM)處的模擬強度模式。e)1550nm處測量的波導輸出模式的衍射受限近場圖像,FWHM約為~1.5m。(圖片來源:Nature Photonics)

                據麥姆斯咨詢報道,材料的光學特性由其化學性質和固有的亞波長結構決定,盡管后者仍有待深入表征。光子晶體和超材料已經證明了這一點,它們通過表面的改變可提供一種全新的超越材料已知自然光學特性的光操控。然而,在過去30年的研究中,現有的技術方法已無法可靠地在材料表面以外的納米結構硬脆光學晶體中進行深入的光學表征和相關應用。

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